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unbalancedmagnetronsputtering相关论文
非平衡磁控溅射La-Ti/WS2自润滑薄膜的摩擦磨损行为
要满足航天器机械转动部件在恶劣工况下的工作,需研制高硬度、低摩擦系数的固体润滑薄膜.采用非平衡磁控溅射法分别制备了纯WS2薄......
期刊
La-Ti/WS2 composite films
unbalanced magnetron sputtering
low friction
wear resi
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